微导纳米首台ALD设备即将交付客户

近日，已于6月22日科创板IPO获得受理的江苏微导纳米科技股份有限公司获得了来自某先进半导体芯片制造企业的首个订单，即将交付首台用于先进技术节点的原子层沉积（ALD）量产设备。据微导纳米官方消息，该产品聚焦全球IC制造市场，为逻辑、存储等超大集成电路制造提供关键工艺技术和解决方案，可覆盖45纳米到5纳米以下技术节点所必需的高介电常数栅氧层ALD工艺需求，填补了该领域无国产设备的空白。

ALD是目前最先进的薄膜沉积技术，主要用于先进晶体管、存储器件和互连中超薄薄膜工艺。据集邦咨询数据，全球ALD设备市场需求在2017年为11亿美元，2023年有望达到23亿美元。上市公司中，先导智能是微导纳米的“兄弟”公司，据万得数据显示两家公司实控人均为王燕清，公司为锂电池、光伏电池/组件等提供高端全自动智能装备及解决方案；北方华创先后完成了PECVD、ALD等设备的开发，ALD设备目前已进入28nm产线，并在主流代工厂14nm产线进行验证。